Технологија ултразвучног прскања за вакуумско паре

Ултразвучни систем распршивања атомизације користи се за интеграцију у вакуумску комору. Експериментима је доказано да се јединствени ултразвучни дизајн распршивања атомизације може интегрисати у вакуум заптивна платформа, погодна за апликације као што су таложење паре полимера и металне органске хемијске паре (МОЦВД). Карактеристична ниска атомизација брзине коју је генерисала ултразвучни систем за распршивање атомизације може произвести чврстог облака паре са уском дистрибуцијом капљица и фреквенцијску величину капљице. Због чињенице да ултразвучно атомизира млазнице претварајући се високог - фреквенцијских таласа у механичке вибрације, течност у контакту са површином млазнице је атомизирана без додавања ваздуха или гаса, тако да интегритет вакуумске коморе није ослабљен током процеса прскања.

Технологија ултразвучног генератора интегрисана у ултразвучни систем за распршивање атомизације пружа потребну електричну енергију за атомизацију и опремљена је напредним функцијама балансирања оптерећења, која се може аутоматски прилагодити тако да се прилагоди различитим вакуумским условима, чиме се одржавају на тај начин стабилније распршивање у процесу вакуумског поступка.

Ултразвучни систем за распршивање атомизације погодан је за високи - вакуумска окружења и има функцију за хлађење и функцију праћења температуре како би се осигурала одговарајућа термичка заштита.

Предности примене вакуумске коморе:

• Електронски уређаји намењени за балансирање оптерећења
• Висока температура заштите и праћење
• Јединствени дизајн ограничења протока течности
• Атомизација се генерише у непостојању ваздуха / гаса, одржавајући вакуум интегритет